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阙端麟——为半导体材料研究和九三学社事业奋斗一生的中科院院士


阙端麟,1928年5月生在福建福州。九三学社社员,教授,著名半导体材料学家,中国科学院院士。历任浙江大学电机系实验室主任、无线电系半导体材料与器件教研室副主任、材料科学与工程系副主任、半导体材料研究室主任、半导体材料研究所所长、浙江大学副校长、校务委员会副主任。曾任第六届全国政协委员,第七届全国人大代表;政协浙江省第四届委员会委员,第七、八届委员会副主席。九三学社第八届中央委员会委员,第九、十届中央委员会常委;九三学社浙江省第一、二届委员会副主委,第三、四届委员会主委,第五届委员会名誉主委。曾兼任浙江省自然科学基金委员会副主任、浙江省学位委员会副主任和浙江省人民政府经济建设咨询委员会委员,国务院学位委员会第二、三、四届非金属材料学科评审组组长,国家科委发明委员会特邀评审员,国家自然科学基金委员会半导体学科评审组组长,浙江省科协第六、七届主席等职。2014年12月在杭州逝世。

半个多世纪间,阙端麟为我国半导体材料研究与生产转化,为多党合作事业特别是九三学社事业倾注了大量心血,作出了重要贡献。

从半导体材料研究的先行者到中科院院士

1928年5月,阙端麟出生在福建福州,23岁从厦门大学毕业后留校任教。1953年院系调整,从此,他成为浙江大学的一名教学科研工作者。在浙大,他先后担任过电机系实验室主任、无线电系半导体材料与器件教研室副主任、材料科学与工程学系半导体材料研究室主任、材料系副主任、半导体材料研究所所长,后来还当过副校长、校务委员会副主任。作为电机系的一名教师,他一开始的研究方向并不是半导体。当时,他为学生开设了一门新课——电工材料,其中包含半导体相关内容。在教学研究过程中,他发现半导体材料是一个新的科研发展方向,从此与半导体材料研究结缘。

1957年,“发展半导体事业”被列入新中国第一个十二年科学发展规划,包括浙大在内的不少高校开始创办半导体材料方面的专业。阙端麟作为浙大半导体材料与器件专业的创始人和骨干教师之一,先后为本科生、研究生开设过十多门课程,其中多门课程是在没有教科书,甚至没有系统参考书的情况下,由他首先收集资料开设的。由于基础扎实、知识面宽、根底深厚,他讲课总是能深入浅出,语言精练而生动,颇得学生好评。他注意理论联系实际,在教学过程中一贯重视培养学生的实践和实验能力。在他的严格训练下,很多学生具备了较强的科研实验能力,后来成长为各单位的业务骨干和领导。他非常重视培养、提携年轻人,一些重要的科研成果取得初步成功后,就及时吸收年轻人一起参加研究改进工作,甚至让他们在成果技术鉴定会上作研制报告。

阙端麟是我国自己培养的专家,他深信在中国的土地上能够做出自己的贡献。几十年的攀登拼搏,换来了一项又一项成果、发明,为中国人争了光。在科研道路上闯过了坎坎坷坷的阙端麟深深体会到,自力更生精神在科技工作中的体现,不仅仅是艰苦奋斗,它更深刻的含义在于利用中国现有条件,去争取高水平的成果。他对前人的经验和结论并不盲从,而是独立思考,批判地吸收,从而有所发现、有所创造、有所前进。

1954年,阙端麟开始着手研究温差电半导体材料,并制成了我国第一台温差发电机。半导体材料当中,硅材料是产量最大、用途最广的一种。但当时,国内硅材料研发面临技术瓶颈。1959年,阙端麟开始探索提纯硅烷及制备高纯硅技术。由于经费有限,当时很多实验仪器只能自己动手做,阙端麟自己就吹制过玻璃制品等零件。为了防止实验中发生爆炸伤人,他用铁丝网把实验设备罩起来。面对资金紧张、设备简陋、硅烷容易爆炸等重重困难,他和课题组一步步改进实验方法,终于在1964年实验室取得高纯硅单晶。随后在浙江大学组成了扩大的研究课题组,于1970年完成了高纯硅烷及多晶硅生产的成套技术研究。这项技术工艺简单,流程短,易于保证高纯度,成为我国生产高纯硅烷的主要方法。1968年,他首次为国内提供了电子工业急需的纯硅烷气体。

阙端麟所在的课题组通过参加国家“六五”、“七五”重点科技攻关,在高纯硅和硅烷等高纯技术上处于国内领先地位,并接近或达到国际先进水平。 为配合国家“六五”科技攻关,他又研制了硅单晶导电型号仪、红外光源硅单晶少子寿命仪,指导研制了硅单晶电阻率测试仪,形成了高纯硅的成套技术,并且使硅单晶的常规测试技术和测试仪器的性能指标达到世界先进水平。20世纪80年代是阙端麟在科研上丰收的时期,除高纯硅和测试技术、测试仪器外,还在硅晶体生长技术方面取得了实质性进展,“氮保护气氛直拉硅单晶”的研究成功,打破了国外同行专家“不可能采用氮气做保护气氛拉制硅单晶”的结论,取得了6项发明专利,经济效益和社会效益十分显著。“减压充氮直拉硅单晶技术”被《科技日报》评选为我国1987年10项重大科技成果之一,1988年该成果又在布鲁塞尔举行的第37届尤里卡世界发明博览会上获金牌奖;1989年获国家发明奖二等奖。

阙端麟在研究工作中有两个特色:一是在选题上有自己独到的见解;二是他一贯重视科研与生产的紧密结合,将科研成果转化为生产力。他在确定研究方向和选题时所遵从的原则是:既要寻找有发展前途的高水平课题,又要照顾到本单位乃至我国所具备的实际条件,量力而行。20世纪70年代,他经过深思熟虑,由研究温差电材料,转而选择了量大面广、性能优良的硅材料作为研究方向,迈出了关键的一步;30多年后,他在浙大建成了以高纯硅材料为特色的国家重点实验室。他认为,科学研究不能“人云亦云”、“凑热闹”,搞低水平的重复。在了解和研究前人及同时代人工作的基础上,必须要有自己的思想和独特的技术思路,才会有所建树。这些思想促使他选题方向正确,且富有创造性,往往取得显著成果。

阙端麟不仅重视科研与生产相结合,而且积极主张努力发展校办产业,他的多项成果一经鉴定就直接转入浙江大学半导体厂生产,工厂所创造的经济效益又用来支持学科和实验室建设,形成了生产与学科建设紧密结合的思路。在此思路的指导下,半导体厂发展很快,1995年国务院发展研究中心授予半导体厂“中华之最”荣誉称号。

在建设浙江大学半导体材料学科过程中,阙端麟带领一班人四处奔波。作为高纯硅国家重点实验室学术带头人、浙江大学半导体材料专业创始人,他苦心经营,把几个人的科研小组发展成集教学、科研、生产于一体的近百人的集体,建立了一支老中青相结合的学术梯队,创立了拥有数亿元固定资产的基地,为学科发展奠定了坚实的基础。浙江大学半导体材料学科是国务院学位委员会批准的第一批硕士学位授予点和第一个半导体材料工学博士学位授予点,1988年又被评定、批准为国家教委重点学科。1985年国家计委批准在浙江大学建设高纯硅国家重点实验室,1987年建成并对外开放。它具备了较好的从事半导体材料和半导体器件教学、研究的条件,已成为培养高质量人才、出高水平成果的基地。

阙端麟学识渊博,诲人不倦,平易近人,师德高尚,他爱党爱国,刻苦攻关,硕果累累。1956年,他被评为浙江大学先进工作者,1983年被评为浙江省五讲四美为人师表优秀教师,1986年被评为国家级有突出贡献的中青年专家,1988年获浙江省劳动模范称号,1990年被评为全国高等学校先进科技工作者,同年获全国“五一”劳动奖章。1991年,阙端麟当选为中科院院士。

担任九三学社省委会主委,为浙江发展殚精竭虑

1984年,阙端麟加入九三学社。1992年他当选为九三学社浙江省第三届委员会主委,后来又连任第四届主委。作为参政党地方组织负责人,如何提高九三学社社员们的参政议政水平,更好地为浙江省经济发展服务,始终是悬在他心头的重要问题。 经过反复思考和与九三学社同仁商讨后,他决定选择一批与全省经济建设有密切关系的课题,并做深入的调查研究,将高质量的调研报告提供给浙江省委、省政府作决策参考。浙江地处东南沿海,气象灾害频繁,他提议由九三学社省委会委托社内气象灾害专家着手研究。经过数月的认真调研,终于完成了这一课题,并以此为基础形成团体提案。在浙江省政协七届二次全会上,九三学社省委会作了题为《强化减灾意识,加强科学研究》的大会发言,呼吁加强对全省自然灾害预防的资金投入和科学研究。这个提案受到浙江省政府有关部门的重视,并被评为1994年度省政协优秀提案。

“三农”问题是阙端麟长期思考的一个问题。1995年,他提议九三学社省委会应配合浙江省委、省政府对我省农业问题进行调研,研究农业产业化问题。在阙端麟第一任主委期间,九三学社省委会调研组先后五次深入萧山、宁波、湖州和鄞县、安吉等地,对农业产业化进行调研。同时,发动9个省辖市及3个县级市的九三学社组织对这一问题同步进行调查研究,又召集农业专家进行研讨,最后形成了《关于我省农业产业化问题的调查报告》,上报浙江省委。《报告》就我省农业产业化的成绩、存在的主要问题作了较详细的分析,并提出了对我省农业产业化的几点意见和建议,受到高度重视。时任浙江省委书记李泽民作了重要批示:“九三学社浙江省委会关于我省农业产业化问题的调查,内容翔实,建议大体可行。农业产业化问题符合党的五中全会提出的实施两个根本性转变的要求,也符合我省实际,这方面我们已有一定基础和成功经验,调查报告的意见和建议,请锡荣同志和省农村工作办公室、农业厅认真研究并采纳。”

2001年,九三学社省委会根据一名社员的建议,组织力量研究论证,最终形成提案《修建钱塘江过江隧道迫在眉睫》,得到时任浙江省省长柴松岳的批示:“文章中阐述的理由充分,建议中肯。”时任浙江省副省长卢文舸将该材料批转给杭州市政府,修建钱塘江过江隧道被纳入杭州市城市总体规划。2010年12月27日,被誉为“钱江第一隧”的杭州市庆春路过江隧道实现通车,钱塘江结束无隧道的历史,形成了江上架桥、江面行船、江底通隧的立体交通格局。

为了促进杭州高新技术开发区的建设,阙端麟还带队去苏鲁皖三省对国家级高新技术开发区作专题考察。他多次就我省高新技术企业的兴起与机电产品出口问题、如何加强国有企业的制度建设与监督、人才培养、自然科学基金等问题向浙江省委、省政府领导坦陈进言。

阙端麟担任主委期间,九三学社省委会与四川广元的“九广合作”影响较大。四川边远地区希望他们能够提供帮助,他们经商讨后,与娃哈哈集团公司联系,双方一拍即合,娃哈哈随即到广元设厂,做成了这件事。他们还促成了杭州正大青春宝药业在广元设厂、义乌小商品城在广元建设分市场,这些项目在广元当地都得到了很好的效益和反响。

在平时,阙端麟经常思考如何用好九三学社专家们的专业优势服务社会。从1997年起,九三学社省委会组织了社内专家学者组成教授育英团,到中学传播科学知识,弘扬科学精神。如2001年4月,他去杭州学军中学作了题为《近现代科技体系发展的思考》的报告。在他看来,九三学社社员在科学技术上多有发明创造,各种科技奖项也经常为九三学社社员所获得,这是一个优势。九三学社组织要多发展学术上有所作为的同志,多关心这些同志,把各种人才吸收进来,进一步把这个优势发挥好。

通过阙端麟和各方面的共同努力,九三学社浙江省委会的工作得到了浙江省委、省政府、省政协的重视,得到了九三学社中央的充分肯定。那十年,他身兼多职,非常忙,经常有多项工作要同时处理,但他始终尽可能抽出更多时间和精力放在九三学社事业的发展上。

2014年12月17日15时,阙端麟因病医治无效在杭州逝世,享年87岁。半个多世纪间,阙端麟为我国半导体材料研究与生产转化,为多党合作事业特别是九三学社事业倾注了大量心血,作出了重要贡献。他的一生,是为半导体材料研究和九三学社事业奋斗的一生。

(赵威根据资料整理 )